特氣在工業(yè)氣體供應(yīng)商運(yùn)行管理中的分類方法

　　特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體的性質(zhì)是安全運(yùn)行與管理的基礎(chǔ)。在儲(chǔ)存、操作、處置氣體之前須了解該特氣的MSDS，即材料安全數(shù)據(jù)表。依據(jù)MSDS特氣可以有多種分類方式。為了便于運(yùn)行管理特氣，工業(yè)氣體供應(yīng)商衡山宇介紹以下幾種分類方法。

　　1.按特氣在壓力容器中的狀態(tài)分類

　　特氣在運(yùn)輸、儲(chǔ)存、輸送過程中都充裝在壓力容器中。氣體在壓力容器中將填充到所有角落，且對(duì)容器的器壁壓力是均衡的。在一般填充壓力和溫度下始終保持氣體形式存在的稱之為永久性氣體，而發(fā)生液化現(xiàn)象的氣體，稱之為液化氣。液化氣又分為兩種類型，高壓液化氣如：HCL、N2O;低壓液化氣如：NH3、CL2、PH3。由于在使用永久性氣體時(shí)壓力容器內(nèi)的壓力將逐漸降低，而在使用液化氣時(shí)，壓力容器內(nèi)只要有液體存在則壓力不會(huì)發(fā)生變化，因此工業(yè)氣體供應(yīng)商在氣體運(yùn)行管理中，監(jiān)控永久性氣體殘余量的方法為壓力監(jiān)控，而監(jiān)控液化氣的殘余量需加裝電子稱，采用重量監(jiān)控的方法。

　　2.按特氣比重分類

　　比重也稱相對(duì)密度，氣體的比重是指該氣體的密度與標(biāo)準(zhǔn)狀況下空氣密度的比值。工業(yè)氣體供應(yīng)商在特氣運(yùn)行管理中，氣體比重可以用該氣體分子量直觀體現(xiàn)?？諝獾姆肿恿繛?8.8，以空氣分子量為分界點(diǎn)，工業(yè)中常見的比空氣輕的氣體有：H2、He、NH3、CH4等等;比空氣重的氣體有：AsH3、PH3、SIH4、CF4等等。這兩類氣體的運(yùn)行管理方式是不同的，比如氣柜內(nèi)比空氣輕的氣體的抽風(fēng)位置和氣體采樣點(diǎn)在鋼瓶上方，而比空氣重的氣體的抽風(fēng)位置和氣體采樣點(diǎn)在鋼瓶下方。需注意的是運(yùn)行管理中的氣體一般都在非標(biāo)準(zhǔn)狀況下，因此與空氣分子量接近的氣體隨著溫度的不同會(huì)有例外，如常溫或高溫N2會(huì)比空氣輕。而冷的N2會(huì)比空氣重。

　　計(jì)算混合氣的分子量，首先確定混合氣的氣體組成及各組成氣體的分子量。比如計(jì)算1%PH3/He的分子量，PH3分子量為34，He分子量為4，計(jì)算公式如下：34×0.01+4×0.99=4.3

　　3.按特氣的化學(xué)性質(zhì)分類

　　工業(yè)氣體供應(yīng)商依據(jù)其化學(xué)性質(zhì)，將特氣分為惰性氣體、可燃性氣體、自燃性氣體、氧化性氣體及腐蝕性氣體幾種。工業(yè)上常用的惰性氣體有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等;可燃性氣體有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB;自燃性氣體有SiH4、PH3等;氧化性氣體有NO、NF3等;腐蝕性氣體有HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是，很多特氣都同時(shí)兼具以上兩種性質(zhì)，如SiH2Cl2、SiHCl3同時(shí)具有可燃性和腐蝕性。再如Cl2、F2同時(shí)具有腐蝕性和氧化性。

　　一般半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)在其主體廠房一層，洛陽(yáng)加氣站都建有專門的特氣房，并根據(jù)所用氣體的種類和性質(zhì)劃分不同的氣體間。如果廠房所用特氣為高毒、易燃易爆且存儲(chǔ)量達(dá)到規(guī)定值時(shí)，則需在離廠房安全距離以外的區(qū)域建立氣站為產(chǎn)線供氣。